使用X射线能谱仪EDS进行成分分析时，一般有三种基本的工作模式，分别为：点测、线扫、面扫。根据不同的测试要求与目的，可以选择相应的分析模式。EDS点扫 在点测模式下，EDS通过在样品上选择一个微小的区域进行测量。这种模式适用于获取单个位置上的元素组成信息。
揭秘EDS能谱的元素识别能力 EDS能谱，即能量分散光谱分析技术，以其卓越的精确性和可靠性，在科学研究、制造、品质控制等领域大放异彩。它究竟能够揭示哪些元素的秘密？让我们一起深入探索。
mm的晶体尺寸保证了高灵敏度和127eV的分辨率，支持多种扫描方式如点、线、面和区域扫描。SEM与EDS的结合应用广泛，如检测表面镀层的裂纹、分析不同材料断口的微观结构和成分。
